Mchakato wa msingi wa mipako ya JKL PVD

(1) Matibabu ya kabla ya PVD, kutia ndani kusafisha vitu na matibabu ya awali.Mbinu mahususi za kusafisha ni pamoja na kusafisha sabuni, kusafisha viyeyusho vya kemikali, kusafisha ultrasonic, na kusafisha bombardment ya ioni.
(2) Kuziweka katika tanuru, ikiwa ni pamoja na kusafisha chumba utupu na Fixtures, na ufungaji, kuwaagiza na uhusiano wa vitu na Ratiba.
(3) Kusafisha, kwa ujumla kusukuma hadi 6.6Pa au zaidi, fungua mbele ya pampu ya uenezi mapema ili kudumisha pampu ya utupu na joto pampu ya utbredningen.Baada ya joto la kutosha, valve ya juu inafunguliwa na kusukuma kwa utupu wa chini wa 6 x 10-3 Pa na pampu ya kuenea.
(4) Kuoka, kuoka vitu kwa joto linalohitajika.
(5) Ion bombardment, utupu kwa ujumla 10 Pa hadi 10-1 Pa, ion bombardment voltage ni hasi high voltage ya 200 V kwa 1 KV, na wakati mashambulizi ni 15 min kwa 30 min.
(6) Kuyeyuka kabla, kurekebisha sasa ili kuyeyusha nyenzo, kurekebisha sasa ili kuyeyusha awali mchovyo na degassing kwa 1min ~ 2min.Utuaji unaoyeyuka.Mkondo wa uvukizi hurekebishwa inavyohitajika hadi wakati unaotaka wa uwekaji uishe.Baridi, vitu vimepozwa kwa joto fulani kwenye chumba cha utupu.
(7) Baada ya vitu kutolewa, chumba cha utupu kinafungwa, utupu huhamishwa hadi l × l0-1Pa, na pampu ya kueneza imepozwa kwa joto linalokubalika kabla ya pampu ya matengenezo na maji ya baridi yanaweza kuzimwa.
 


Muda wa kutuma: Sep-07-2021